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型號:GP200-SiPH
8英寸硅光測試手動探針臺
應用:GP200-SIP系列8英寸探針臺包含硅光芯片的DC&RF&OO測試所需的完整配置,在最短時間內可準確地完成芯片的參數測試與提取。
XY行程 | 快速定位行程:210mm×210mm; 精調行程: 210mm×210mm , 精調分辨率:≤ 1.0 μm;驅動方式:手動 |
Z軸行程 | 10mm;驅動方式:手動 |
Theta旋轉 | 快速旋轉角度:360°;精調角度:±15°,精調分辨率:<0.02°;驅動方式:手動 |
Chuck臺 | 尺寸:203mm(8inch) ;真空盤可調節高度:±5mm 真空快速切換開關,真空調節檔位:Center、2’、4’、8’ 安裝方式:真空盤與主體絕緣 |
臺面精度 | 平面度:<10 μm |
快速拉出結構 | 行程:100mm |
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